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退火炉是用于制造半导体器件的过程，该过程涉及加热多个半导体晶片以影响其电性能。 热处理旨在实现不同的效果。 可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转化为薄膜或将薄膜转化为晶片衬底界面，制成致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，注入的损伤， 移动掺杂剂或移动掺杂剂试剂从一个膜转移到另一膜，或从膜转移到晶圆基板。
热处理炉分为退火炉，淬火炉，回火炉，正火炉和回火炉。 它们主要用于大型碳钢和合金钢零件的退火； 表面淬火零件已回火； 用于焊接零件的应力消除退火，时效和其他热处理工艺。 加热方法包括电加热，燃油，天然气，燃煤和热空气循环。 退火炉是一种新型的热交换设备。 退火炉是一种具有超节能结构和纤维结构的节能周期性操作炉，可节电60％。
退火炉框架由各种类型的钢焊接而成，外框架由槽钢作为主梁，外围板由冷板制成，小车。
槽钢用作主梁，底板和前后板采用中间板。
退火炉传动部分：小车驱动采用电机和减速器，通过链条驱动前轮驱动轮。 炉门驱动采用蜗轮蜗杆减速机和电动机的组合来上下移动。
密封：小车和炉体密封在迷宫式结构中，小车的两侧都有自动砂封刀密封装置。 炉门密封采用滚道压实和弹簧压实的自动机构。 炉体部分采用耐火砖结构，确保炉腔的密闭性。 手推车的耐压部分使用高铝砖，下部增加了隔热砖以进行保温。
退火炉燃烧系统：在油炉的两侧安装多个燃烧器，热量在炉内循环，以确保炉温均匀。 根据需要选择自动类型和半自动类型。
排烟预热装置：排烟预热装置安装在炉子的上端。 当炉中的烟气通过预热器时，将风扇送至冷空气进行预热，然后将管道送至燃烧器进行燃烧支持，并在出口处安装一个手动碟形阀，该阀可调节 炉内压力。 广泛用于化学，石油，食品，冶金，机械，轻工，电力，造船，造纸，采矿，医药和集中供热等工业部门的加热，冷却，冷凝，蒸发和其他过程。
