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退火炉有哪些结构组成?

2020-05-15 13:26:03

  退火炉是用于制造半导体器件的过程,该过程涉及加热多个半导体晶片以影响其电性能。 热处理旨在实现不同的效果。 可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转化为薄膜或将薄膜转化为晶片衬底界面,制成致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,注入的损伤, 移动掺杂剂或移动掺杂剂试剂从一个膜转移到另一膜,或从膜转移到晶圆基板。

  热处理炉分为退火炉,淬火炉,回火炉,正火炉和回火炉。 它们主要用于大型碳钢和合金钢零件的退火; 表面淬火零件已回火; 用于焊接零件的应力消除退火,时效和其他热处理工艺。 加热方法包括电加热,燃油,天然气,燃煤和热空气循环。 退火炉是一种新型的热交换设备。 退火炉是一种具有超节能结构和纤维结构的节能周期性操作炉,可节电60%。

  退火炉框架由各种类型的钢焊接而成,外框架由槽钢作为主梁,外围板由冷板制成,小车。

  槽钢用作主梁,底板和前后板采用中间板。

  退火炉传动部分:小车驱动采用电机和减速器,通过链条驱动前轮驱动轮。 炉门驱动采用蜗轮蜗杆减速机和电动机的组合来上下移动。

  密封:小车和炉体密封在迷宫式结构中,小车的两侧都有自动砂封刀密封装置。 炉门密封采用滚道压实和弹簧压实的自动机构。 炉体部分采用耐火砖结构,确保炉腔的密闭性。 手推车的耐压部分使用高铝砖,下部增加了隔热砖以进行保温。

  退火炉燃烧系统:在油炉的两侧安装多个燃烧器,热量在炉内循环,以确保炉温均匀。 根据需要选择自动类型和半自动类型。

  排烟预热装置:排烟预热装置安装在炉子的上端。 当炉中的烟气通过预热器时,将风扇送至冷空气进行预热,然后将管道送至燃烧器进行燃烧支持,并在出口处安装一个手动碟形阀,该阀可调节 炉内压力。 广泛用于化学,石油,食品,冶金,机械,轻工,电力,造船,造纸,采矿,医药和集中供热等工业部门的加热,冷却,冷凝,蒸发和其他过程。


退火炉

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